用什么來進(jìn)行半導(dǎo)體工業(yè)燒結(jié)用石墨模具材料？

    先來解說什么是燒結(jié)用石墨模具：
1.燒結(jié)用石墨模具

    因?yàn)楦呒兪哂心透邷?、純度高、高溫下尺度穩(wěn)定、耐熱沖擊性能好等特點(diǎn)，所以在半導(dǎo)體工業(yè)中廣泛選用高純石墨制作各種燒結(jié)模具。

(1)電子器材燒結(jié)用石墨模具。石墨燒結(jié)模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結(jié)，圖為部分燒結(jié)模具實(shí)例。選用高頻爐區(qū)熔法拉制單晶時(shí)，還選用石墨舟(見圖2-4）。

（2）各種絕緣子燒結(jié)模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結(jié)，電容器絕緣子燒結(jié)，厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結(jié)，超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結(jié)模具等，圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結(jié)模具。

2.半導(dǎo)體工業(yè)用石墨模具資料的選擇

    半導(dǎo)體工業(yè)對(duì)所用石墨資料要求其純度越高越好，特別是直接與半導(dǎo)體資料觸摸的石墨器材

    如坩塌、燒結(jié)用石墨模具等，雜質(zhì)含量多會(huì)污染半導(dǎo)體資料，因而不但對(duì)所用石墨原資料的純度要嚴(yán)加控制，而且還要經(jīng)高溫石墨化處理，使其灰分降到最低程度。

    半導(dǎo)體工業(yè)要求所用石墨資料顆粒度要細(xì)，顆粒度細(xì)的石墨不但容易到達(dá)加工精度而且高溫強(qiáng)度高、損耗小，特別是燒結(jié)用石墨模具要求加工精度很高。因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)所用的石墨器材(包含加熱器和燒結(jié)模）都需求接受反復(fù)加熱和冷卻進(jìn)程，為了進(jìn)步石墨器材的運(yùn)用壽命，要求所用石墨資料在高溫下具有良好的尺度穩(wěn)定性和耐熱沖擊性能。為了滿意上述各項(xiàng)要求，目前我國(guó)出產(chǎn)了一系列適用于半導(dǎo)體工業(yè)所運(yùn)用的石墨資料，其部分牌號(hào)和性能列于表